Phenom ProX - это пятое поколение.Зеркальный спектрометрЭто * Интегрированная система анализа изображений, которая повышает разрешение на 20%, еще больше увеличивает сферу применения, более подходит для чувствительных к электронному лучу образцов. С помощью этой системы можно наблюдать как внешний вид поверхности образца, так и анализ его элементарных компонентов. При изучении образца получение информации о форме образца решает только половину проблемы. Также часто необходимо получить информацию о компонентах образцов. С помощью полностью интегрированного и специально разработанного спектрального детектора энергииЗеркальный спектрометрПрограмма Phenom ProX позволяет решить все вышеперечисленные проблемы. Энергетический спектрометр - это аналитический прибор, который генерирует рентгеновские лучи, основанные на возбуждении образцов электронным лучом. Спектрометры Phenom, как программное, так и аппаратное обеспечение, интегрированы в Flinar.Система Phenom ProX. Программное обеспечение Element Identification (EID) позволяет пользователям проводить многоточечный анализ для проверки компонентов образцов. Кроме того, программное обеспечение может быть расширено до функции элементарного анализа линейного сканирования (mapping). Поэтапный интерфейс помогает пользователям легче собирать и экспортировать аналитические данные.
| Phenom Про | Фенома ProX | Фенома XL | |
| Оптическое усиление | 20 - 135 X | 20 - 135 X | 3 - 16 X |
| электронно - оптическое усиление | 80 - 150 000 х | 80 - 150 000 х | 80 - 100 000 х |
| разрешение | Больше 8 нм | Больше 8 нм | Более 14 нм |
| Цифровое увеличение | Макс. 12 X | Макс. 12 X | Макс. 12 X |
| оптическая навигационная камера | цветной | цветной | цветной |
| напряжение ускорения | 5 kv - 15 kv Непрерывная регулировка | 5 kv - 15 kv Непрерывная регулировка | 5 kv - 20 kv Непрерывная регулировка |
| Вакуумный режим | Режим с высоким разрешением | Режим с высоким разрешением | Режим с высоким разрешением |
| Режим снижения заряда | Режим снижения заряда | Режим снижения заряда | |
| 高真空模式 | |||
| Детектор | детектор электронов обратного рассеяния | детектор электронов обратного рассеяния | детектор электронов обратного рассеяния |
| Вторичный электронный детектор (выборочно) | Вторичный электронный детектор (выборочно) | Вторичный электронный детектор (выборочно) | |
| Размер образца | Большой диаметр 32 мм | Большой диаметр 32 мм | Большой 100 мм x 100 мм |
| Возможность одновременной загрузки 36 0,5 - дюймовых стендов | |||
| Высота образца | Высота 100 мм | Высота 100 мм | Высота 65 мм |
